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          管式等離子體氧化鋁澱積爐

          • 産品詳細

          設備名稱 Equipment Name

          管式等離子體氧化鋁澱積爐  Horizontal PECVD (AlOx ) 

          設備型號 Equipment Model

          PD-450M

          設備用途 Equipment Application

          本設備主要用于在硅片背面通過N2O和TMA澱積氧化鋁鈍化介質膜,提高電壓和電流,再在氧化鋁膜表面澱積氮化硅保護膜。
          Deposit AlOx passivition dielectric film on the rear side of solar cells x through N2O and TMA gas to increase voltage and current of the solar cell and then deposit SixNy protective film on the surface of the AlOx film. 


          工藝流程 Process Flow

          石墨舟及硅片准備——管內充氮氣——進舟——抽真空、壓力測試——澱積氧化鋁複合膜——抽真空、壓力測試——清管路、充氮氣——退舟
          graphite boat & wafers ready→Nitrogen inlet→graphite boat load in→vacuum,pressure test → deposit AlO film→vacuum, pressure test→ tube cleaning and Nitrogen inlet→graphite boat unload.


          技術特點  Features

          1. 氧化鋁/氮化硅⼆合⼀功能。
          AlOx / SixNy two-in-one function. 

          2. MES控制功能。
          MES control.

          3. 中央計算機集中控制。
          Central computer control.

          4. 雙爐門結構設計。
          Double furnace door.

          5. 雙水冷凝冷卻密封技術。
          Double cooling water flanges sealing technology.

          6. 懸浮承載舟技術。
          Graphite boat contact-free with quartz tube.

          7. 快速鍍膜技術。
          Fast coating technology.

          8. 兼容氮氧化硅PERC技術。
          Compatible with SiOxNy PERC technology. 

          9. 均勻性改善系統。
          Uniformity improvement system.


          設備參數  Parameters



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