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管式等離子體氧化鋁澱積爐

  • 産品詳細


設備名稱 Equipment Name
· 管式等離子體氧化鋁澱積爐  Horizontal PECVD (AlOx

設備型號 Equipment Model
· PD-450M

設備用途 Equipment Application
· 本設備主要用于在硅片背面通過N2O和TMA澱積氧化鋁鈍化介質膜,提高電壓和電流,再在氧化鋁膜表面澱積氮化硅保護膜。
 Deposit AlOx passivition dielectric film on the rear side of solar cells x through N2O and TMA gas to increase voltage and current of the solar cell and then deposit SixNy protective film on the surface of the AlOx film. 

工藝流程 Process Flow
· 石墨舟及硅片准備——管內充氮氣——進舟——抽真空、壓力測試——澱積氧化鋁複合膜——抽真空、壓力測試——清管路、充氮氣——退舟
  graphite boat & wafers ready→Nitrogen inlet→graphite boat load in→vacuum,pressure test → deposit AlO film→vacuum, pressure test→ tube cleaning and Nitrogen inlet→graphite boat unload.

技術特點  Features

· 氧化鋁/氮化硅⼆合⼀功能。
  AlOx / SixNy two-in-one function. 

· MES控制功能。
  MES control.

· 中央計算機集中控制。
  Central computer control.

· 雙爐門結構設計。
  Double furnace door.

· 雙水冷凝冷卻密封技術。
  Double cooling water flanges sealing technology.

· 懸浮承載舟技術。
  Graphite boat contact-free with quartz tube.

· 快速鍍膜技術。
  Fast coating technology.

· 兼容氮氧化硅PERC技術。
  Compatible with SiOxNy PERC technology. 

· 均勻性改善系統。
  Uniformity improvement system.
 

設備參數  Parameters


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